罗锋

发布者:罗锋发布时间:2024-09-25浏览次数:7797

目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员,上海光源用户委员会委员(半导体与芯片检测领域),中国感光学会光刻材料与技术专业委员会委员上海光源科学中心同步辐射应用技术部主任(负责上海光源同步辐射技术在半导体领域的应用规划与建设,包括极紫外光刻胶评估平台和EUV掩模缺陷检测平台升级建设,推动同步辐射技术在半导体后道封装以及器件缺陷与失效检测与工业界合作以及产业化), 2023-2025北方华创学术讲师(与北方华创在14nm以下集成电路关键装备方向展开深度合作)。研究方向包括未来芯片材料与器件表征技术(晶圆级存储薄膜材料创制与阵列式高密度器件先进表征技术;X射线表征与检测分析技术在IC中的应用