罗锋

发布者:罗锋发布时间:2024-09-25浏览次数:7797

罗锋博士201012月加入马德里高等研究院纳米研究所,201312月提前获得研究教授(终身教职副教授)20166月晋升为资深研究教授(终身教职正教授)现任南开大学材料科学与工程学院/电子信息与光学工程学院双聘讲席教授,先后入选欧盟玛丽居里学者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批国家重大人才创新长期项目等。目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员,上海光源用户委员会委员(半导体与芯片检测领域),中国感光学会光刻材料与技术专业委员会委员, 上海光源科学中心同步辐射应用技术部主任(负责上海光源同步辐射技术在半导体领域的应用规划与建设,包括极紫外光刻胶评估平台和EUV掩模缺陷检测平台升级建设,推动同步辐射技术在半导体后道封装以及器件缺陷与失效检测与工业界合作以及产业化), 2023-2025北方华创学术讲师(与北方华创在14nm以下集成电路关键装备方向展开深度合作)。研究方向包括未来芯片材料与器件表征技术(晶圆级存储薄膜材料创制与阵列式高密度器件先进表征技术;X射线表征与检测分析技术在IC中的应用:EUV光刻胶反应机制与性能评估;掩模缺陷检测;器件无损分析);MEMS设计、器件可靠性、晶圆级器件加工与电路系统集成。课题组在半导体刻蚀装备、纳米压印装备、半导体检测装备、极紫外光刻工艺与装备领域有20年技术积累,与国内所有主流存储芯片厂商、逻辑芯片代工厂、华为2012实验室多个研发部门、张江国家实验室、国内外极紫外光刻胶厂商、极紫外光源设施单位密切合作。部分装备已经获得意向合同订单6000余万;团队两个创业公司共获得融资5500余万;另有地方政府科创项目支持1000万。近三年(2022-2024)在Nature Communications,JACS,ACS Nano,集成电路设计顶刊IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS(南开历史上第一篇)等国际一流期刊发表SCI文章56篇;主持/参与科技部重点研发专项课题2项(740万)、横向课题1项(2023年项目经费220万元);在半导体器件与装备领域已授权发明专利4项,尚未授权发明专利18项。

2021.01-现在,南开大学材料科学与工程学院讲席教授

2018.01-2020.12,西安交通大学机械工程学院校聘讲座教授

2016.07-2020.12,西班牙马德里高研院纳米科学与技术研究所,教授(Tenured)

2010.12-2016.06,西班牙马德里高研院纳米科学与技术研究所,研究教授(Tenured)

2009.11-2010.11,北大学工学院材料科学与工程系,特聘研究员PI

2006.10-2009.11,瑞士保罗谢尔研究所微纳技术实验室,博士后,导师ETHZ教授Laura Heyderman

2004.10-2006.10,德国马克思-普朗克微结构与物理研究所,博士后,导师 J.Kirschner

1999.09-2004.06, 北京大学化学与分子工程学院,材料化学博士/导师严纯华院士

1995.09-1999.06, 北京大学化学与分子工程学院,物理化学本科/导师刘忠范院士

科研项目:

1.科技部重点研发专项"面向Sub-7nm 先进工艺节点集成电路核心器件的同步辐射表征技术及应用",2022-2026,520万/1850万,课题负责人。

2.科技部重点研发专项"生物纳米孔基因测序仪",2022-2024,200万/4000万(2000万公司匹配),课题参与。

3.基金委重大项目"非常规激发染料的构效调控及产品工程科学基础",2021-2024,100万,EUV光刻胶课题参与。

4.横向课题,2023-2023,220万,课题负责人。